1、无损测试。不会在样本表面留下痕迹。分析后的样本可重新投入生产，以便进一步加工或运送至客户。
2、样本制备快速简单。要分析液体、糊状物、粉末或颗粒，只需将其倒入样本杯并放入分析仪中，而固体则可能需要切割成适合分析仪的尺寸。通常无需制备其他样本，从而加快测量过程并降低污染几率。
3、简单易用。运行XRF测试无需有经验的实验室技术人员。只要稍加培训，任何人均可安全使用设备，并提供准确结果。
4、购置成本低。运行所需的耗材是样本杯或样本盒，如果测量非常轻的元素（如钠），则可能还需要使用氦。
5、无需使用湿化学方法。因为使用XRF测试样本无需购买、储存和处理危险化学品。这可降低成本和员工所面临的风险。
6、结果更具重现性。XRF分析所测量的样本量大于ICP，因此其测量结果更有可能代表整个样本。样本制备量越少，测试过程中的污染几率就越小。此外，由于测试简单快捷，因此可轻松地复核结果。
如果分析ppm以上的钠到铀元素，则可考虑使用XRF替代ICP。
1.XRF测试仪使用的安全准确操纵办法
(a)选用X光管发生激发源，因而，在不应用时，仪器会主动将X光管的高压断掉，使X光管的电源处理待机状况。此刻，仪器将不会发生任何射线，一起大大延伸X光管的寿数。
(b)在弃捐样品时，只需敞开防护罩，仪器也主动将X光管中止，不再发生X射线，完全可以保护使用者的人身安全。
(c)敞开、关闭仪器盖子时，应轻开轻放。
(d)设备使用的操纵人员，有必要要接收安全和操纵训练后，才可上机，以保证设备的安全操纵与准确使用。
(e)在替换准直器要把稳手形，避免去触摸探测器。
2.养成准确使用设备的习气
(a)开机次序：开稳压电源——开测验仪及内部设备(显示器、打印机)——开计算机主机。
(b)关机次序：参与测验程序——关计算机主机——关测验仪及外设——关稳压电源。
(c)不要频频地开关机，电源的频频通断给仪器构成的突击不容忽视。
(d)在使用中严厉依照操纵规程来对XRF测试仪中止操纵。
