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镀层膜厚的分类

  • 发布日期:2020-09-16      浏览次数:95
    • 薄膜是指沿衬底垂直方向堆叠的1~104个原子层或分子层。在这个方向上,薄膜具有微结构。
      理想的膜厚度是指基底表面和膜表面之间的距离。因为薄膜只在厚度方向上是微观的,其他二维方向有宏观尺寸。因此,要表达薄膜的形状,必须用宏观的方法,即长、宽、厚的方法。所以膜厚不仅仅是宏观概念,更是微观固体线性。
      事实上,现有的表面是不均匀的、连续的,薄膜内部表面可能会有针孔、杂质、晶格缺陷和分子吸附,因此实际上很难严格定义和准确测量薄膜的厚度。膜厚的定义应根据测量方法和目的来确定。
      根据经典模型,物质的表面不是抽象的几何概念,而是物理概念,由刚性球体的原子(分子)紧密排列而成。
      形状膜厚:dT是视觉形态的膜厚,通常以um为单位。DT只与表面原子(分子)有关,包含薄膜内部结构的影响;
      质量膜厚:dM反映膜中所含物质的量,通常以μg/cm2为单位,消除了膜内部结构的影响(如缺陷、针孔、变形等)。);
      物理膜厚:差压在实际应用中很有用,易于测量。与薄膜的内外结构没有直接关系,主要取决于薄膜的性质(如电阻率、透光率等)。)

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